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:芯源微(688037)臭氧及臭氧水清洗是否为目前先进制程的优选清洗方式的趋势?  
2026年05月07日 16:04 来自 Android

芯源微

半导体清洗工艺及技术路线复杂多样,不同具体工艺节点和应用场景下的清洗方案需结合客户需求等多方面因素综合考量。公司关注前沿技术方向并持续投入研发,公司清洗设备在核心指标上持续取得突破和进步。具体技术及产品情况详见公司公告,感谢您的关注!
2026年05月08日 16:05 来自 Android