投资者_1711557689000

:至纯科技(603690)你好,14nm 以下高阶单片清洗验证难度高,贵司湿法清洗设备(至微)是否已经 进入国内顶级先进制程 GPU 产线,目前批量设备主要是应用 高端存储芯片 还是逻辑芯片生产产线?  
2026年10月09日 15:43 来自 网站
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至纯科技

您好,公司半导体湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后 。公司在 28 纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点也已取得部分工艺订单,适用于存储、先进逻辑及特殊工艺应用。目前公司法设备主要供应逻辑芯片产线。
2026年10月12日 18:19 来自 网站